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标题: 博开低温泵(冷泵、冷凝泵)的应用 [打印本页]

作者: erdan521    时间: 2015-4-11 09:55
标题: 博开低温泵(冷泵、冷凝泵)的应用
本帖最后由 erdan521 于 2015-4-11 16:06 编辑

一)、博开超高低温泵



二)、博开DZB400低温泵应用

一、设备情况:
1、设备腔体尺寸直径1.1米;
2、前级泵:机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw;
3、主泵配置:博开DZB400低温真空泵两台(原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw);
二、使用情况:
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa,需要20min。
2、开高阀,抽高真空至6.4x10(-4)Pa,所需25min。
三、对比
1、抽速:原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10(-4)Pa,需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10(-4)Pa,所需25min。
2、耗能:a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW,两台扩散泵为16Kw,机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启,共需23.5Kw/h。
                b、DZB400低温泵4.5KW(功率恒定),两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性,抽取高真空时,前级机械泵+罗茨泵无需开启,只需抽低真空至3Pa以下即可,
设;使用30分子钟抽至低真空3Pa,机械泵耗费约2.25Kw,罗茨泵耗费约1.5Kw,使用低温泵后共需12.75Kw/h。
3、环境:低温泵为无油泵,对镀膜高端产品时,无需考虑返油问题,提高产品质量。

三)、博开DZB720低温泵应用



一、设备情况
1、设备腔体尺寸直径1.3米
2、前级泵:两台机械泵+   罗茨泵
3、主泵配置:博开DZB720低温泵一台   
二、抽真空情况
附;真空度时间记录表;

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作者: erdan521    时间: 2015-4-11 10:02
本帖最后由 erdan521 于 2015-4-11 15:21 编辑

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