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标题: VirtualLab-衍射光学元件设计-光分束器设计 [打印本页]

作者: 骑猪走天涯 时间: 2015-6-30 15:21
标题: VirtualLab-衍射光学元件设计-光分束器设计
本帖最后由骑猪走天涯于 2015-6-30 15:58 编辑

资料介绍了通过使用VirtualLab软件中的衍射光学工具箱中的分束器设计功能，根据输入的高斯光场以及期望的输出光场，设计了一个图案分束器各衍射级次的间距为1mm x 1mm。
设计过程中主要使用了转换效率、一致性误差以及最大杂散光强度三种优化函数。设计完成后所获得的转换效率为64%，一致性误差为4.2%以及杂散光强度为4.8%。最后可通过设计的相位板生成相应的衍射光学并可导出标准的蚀刻掩膜加工格式文件GDSII文件以用于加工生产。

设计过程介绍及运行程序见附件：

图案分束器分束效果如图所示：

光分束器分束效果.jpg (68.45 KB, 下载次数: 19)

衍射光学工具箱-光分束器设计.zip

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