光电工程师社区

标题: [求助]APS1104 [打印本页]
作者: gxd_002    时间: 2004-10-16 00:20
标题: [求助]APS1104
莱宝APS1104镀膜机离子源报警：Heater current 是什么原因造成的，且保险和离子源内部的清洁都经过严密的检查，没有发现什么问题，请各位赐教
作者: piss0204    时间: 2004-10-16 07:37

你有2台leybold APS1104的機台嗎???

如果APS內的物件都是好的先那你可以先測量再打離子源時TP250是否有輸出電流至APS內

如果沒有就是TP250內有一塊電路板壞了orTP250內有保險絲燒掉

作者: matta    时间: 2004-10-16 17:42

跳闸了

作者: piss0204    时间: 2004-10-16 18:03

1.檢查APS內之heater cathode 是否有degas 是否清潔

2. 將離子元啟動檢查TP250 之-w40914電壓0...+10vdc ^=0...20vdc ，

-w19016 -w19015 0..20vdc/3..250adc如果無值代表TP250內部電路板損壞(最好不要

發生)or內部保 險絲燒毀

3.分解APS檢查內部是否積碳

作者: piss0204    时间: 2004-10-16 18:03

1.檢查APS內之heater cathode 是否有degas 是否清潔

2. 將離子元啟動檢查TP250 之-w40914電壓0...+10vdc ^=0...20vdc ，

-w19016 -w19015 0..20vdc/3..250adc如果無值代表TP250內部電路板損壞(最好不要

發生)or內部保 險絲燒毀

3.分解APS檢查內部是否積碳





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