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标题: 真空蒸发镀膜 [打印本页]

作者: 遗忘的回忆 时间: 2015-7-12 22:47
标题: 真空蒸发镀膜
第十八讲真空蒸发镀膜
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作　　者：张以忱
机构地区：东北大学,辽宁沈阳110004
出　　处：《真空》 2014年第51卷第1期 77-80页,共4页
Vacuum
摘　　要：⑤具有轴向枪、磁聚焦和磁偏转90。的蒸发器：如图11（e）所示。采用水平安装电子枪，电子束经静电偏转或磁偏转之后再轰击镀料，可克服蒸气污染和占用有效空间的缺点。
关键词：真空蒸发镀膜水平安装静电偏转有效空间磁偏转磁聚焦蒸发器电子枪

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