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标题: 关于AR镀膜 [打印本页]

作者: a520200 时间: 2015-9-19 23:19
标题: 关于AR镀膜
生产绿色颜色膜，使用TI305 +SIO2 ，40度冷镀，镀钛吸收很大，有没有什么办法改善工艺？请大神赐教

作者: huang12949 时间: 2015-10-5 12:41
加氧气，如果加了还不行，就加大流量

作者: wlinliu 时间: 2015-10-23 19:11
镀钛一定要加大氧气的流量，实在不行就降低蒸发速率，最高不要超过0.3nm/s

作者: wlinliu 时间: 2015-10-23 19:13
这个膜我之前有过深入的研究，如果需要详细探讨可以联系我的QQ，1056988945

作者: 苏州膜头 时间: 2015-10-27 20:48
实在不行可以考虑换材料啊。

作者: kelvin874874 时间: 2015-11-20 09:35
要使用Ion gun壓
Ti3O5需要ION GUN@冷鍍
否則要加熱

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