使用油扩散泵作为高真空系统的同行一定很多,有点问题请教一下:
标注油扩散泵性能指标的:
运动粘度、平均分子量、闪点、饱和蒸气压、极限压力
分别代表什么,哪些指标反应了油工作液的性能状况,根据国产镀膜机(比如南光)如何从以上几个方面选取扩散泵油?
依我的理解,平均分子量大,油蒸汽动量大,携带气体能力强,抽速快。
闪点高,油裂化成低馏份油的温度高,油性能稳定。
饱和蒸汽压反映抽气过程中可能的返油,饱和蒸汽压低,返油少。
极限压力反映使用该油作为工作液理想状态下所能达到的极限真空压力。
也不知道对与不对,另外,运动粘度是什么概念?以上几个参数该如何均衡考虑选择合理,还请高手指点。谢谢!
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