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标题: 求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？ [打印本页]

作者: ditto 时间: 2004-10-23 19:50
标题: 求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

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