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标题: 求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？ [打印本页]

作者: ditto 时间: 2004-10-24 08:14
标题: 求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

作者: eagle1 时间: 2004-11-3 22:34

肯定不是单晶，可能是非晶和多晶。

作者: zzf-1 时间: 2005-2-4 21:36
标题: 回复：（ditto）求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是...

生长的SiO2或者SiN介质薄膜本来就不是晶体形式存在的，不需要讨论。

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