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标题: 晶控论谈 [打印本页]

作者: xiaoil 时间: 2004-11-4 01:38
标题: 晶控论谈

关于TELEMARK880晶控的使用:

请大家交流!

.有个光学薄膜技术交流群中就有(号码:16112861)

[此贴子已经被作者于2005-10-25 18:13:40编辑过]

作者: xiaoil 时间: 2004-11-4 01:41

请问哪位老大使用过TELEMARK880晶控???

作者: 李伟华 时间: 2004-11-5 05:39

TELEMARK 的晶控在国内不是很常见。

不知道楼主有什么问题

作者: 李伟华 时间: 2004-11-5 05:39

TELEMARK 的晶控在国内不是很常见。

不知道楼主有什么问题

作者: 李伟华 时间: 2004-11-5 05:40

TELEMARK 的晶控在国内不是很常见。

不知道楼主有什么问题

作者: xiaoil 时间: 2004-11-5 05:49

李先生：您好！

我是成都晶华集团晶隆光学有限公司的，姓席

作者: xiaoil 时间: 2004-11-5 05:55
主要是晶控片使用到86%以后就不好用了，请问李先生有什么高招？？？

作者: 李伟华 时间: 2004-11-5 23:51

86%应该还是正常范围之内。

想要用的更长寿命要注意一些细节，比如安装，晶片表面的防污等，还有冷却水很重要，晶片有温频效应，温度变化大了会影响到晶片的频率。

大家也来讨论一下吧。

各位的晶片一般可以用到？%？

作者: zjtzzw 时间: 2004-11-23 05:11

晶片有有温频效应，温度变化大了会影响到晶片的频率，所以常常会中心波长一下镀高和镀低。

我们的晶片用到92％就不用了。

作者: 超级狐狸 时间: 2004-11-23 16:29
请问，晶控用IC5的话，是否需要人眼辅助监控呢，如果参数调好的话是完全没那个必要吧

作者: ic5 时间: 2004-11-23 18:06
IC5完全可以实现自动控制啊,只要有软件来驱动判断,没有必要用人眼来辅助判断

作者: oetuse 时间: 2004-11-23 18:54
我们晶片用到15%就换掉啦！！！很浪费吧？！！

作者: chz321 时间: 2004-11-24 07:44

我们用到92%就不用了，

我想请问一下，晶片用到有效期过后，清洗再用，一共可清洗几次后晶片就不能再用了，

作者: 李伟华 时间: 2004-11-24 16:43

以下是引用chz321在2004-11-23 23:44:36的发言：
我们用到92%就不用了，

我想请问一下，晶片用到有效期过后，清洗再用，一共可清洗几次后晶片就不能再用了，

理论上只要洗干净可以用多次。

一些日企的经验是返用2次就不用了。他们的返用是返镀，不是简单的清洗。

晶控片返镀一次，就有所磨损。而一批晶片磨损度是很难保证一致的，所以返镀的晶片寿命会产生大的差异。

作者: xiaoil 时间: 2004-11-25 01:20

请问晶控片如何清洗?清洗时应注意些什么呢?请老师教教我!

作者: chz321 时间: 2004-11-25 08:08

多谢李伟华，

我还有个问题想问一下，我在书上看过，说晶振片的灵敏度跟温度有关，温度越高灵敏度越低，但书上没说高多少度时灵敏度会降下，那我们用的晶片一般工作温度都在200左右或更高，那是否影响晶片的灵敏度，

作者: 李伟华 时间: 2004-11-25 16:29

以下是引用chz321在2004-11-25 0:08:39的发言：
多谢李伟华，

我还有个问题想问一下，我在书上看过，说晶振片的灵敏度跟温度有关，温度越高灵敏度越低，但书上没说高多少度时灵敏度会降下，那我们用的晶片一般工作温度都在200左右或更高，那是否影响晶片的灵敏度，

晶片有温频特性，即温度变化晶片的频率会产生变化。这种变化量是很微小的，但对膜厚来说这种变化还是有很大的影响。特别是温度骤冷骤热，晶片的频率就会产生的突变。

因此晶控仪探头都加装有冷却水部分。在镀膜过程中，真空室的温度一般都很高，而晶控控头部分的温度相应是低而恒温的。晶片的最佳工作温度是25度+-5度，水温最高应控制60度下。并保持恒定。

晶控片是个很敏感的传感器，控制控头冷却水的温度对稳定膜厚控制和延长晶片寿命是必要的。

作者: 李伟华 时间: 2004-11-25 16:30
我是理论方面的，大家谈谈实际情况。

作者: 超级狐狸 时间: 2004-11-25 21:12

IC5说明书中确定Z-ratio时，有如下的一段话：

Laboratory results indicate that Z-values of materials in thin-film form are very close to the bulk values.However ,for high stress producing materials,Z-values of thin films are slightly smaller than those of the bulk materials.

请问bulk value中的bulk是啥意思啊？还有high stress producing material是指什么样的材料啊

作者: 超级狐狸 时间: 2004-11-25 23:37
bulk value是不是容积密度的意思啊？粉尘密度有堆积密度和真密度之分。自然堆积状态下单位体积粉尘的质量，称为粉尘堆积密度(或称容积密度)。密实状态下单位体积粉尘的质量，称为粉尘真密度(或称尘粒密度)。

作者: liudongdong 时间: 2004-11-26 01:10
楼上如有用到MAXTEK和TELEMARK牌子的晶体膜厚测量仪的我有办法帮您晶振片使用寿命延长4-10倍，减少换片次数。的意者请致电我们0755-26066810，26066939

作者: xiaoil 时间: 2004-11-27 21:23
有谁需要TETEMARK880的说明书,请留下E-MAIL地址我给大家发过去?

作者: hzkd 时间: 2004-11-28 00:15
hzkd@tom.com

作者: xiaoil 时间: 2004-11-28 18:15

那位想要TELEMARK880中文说明书,请留下电子邮箱E-MAIL,我一并发给大家一起分享!

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 01:34

谁想要该晶控的说明书请留下E-mail地址，我发给大家

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 01:36
谁要该晶控的说明书，请留下E-mail地址，我发给大家

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 01:38
标题: 回复：（xiaoil）晶控论谈
谁要该晶控的说明书，请留下E-mail地址，我发给大家

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 01:40
标题: 回复：（xiaoil）请问晶控片如何清洗?清洗时应注意些什...

谁要该晶控的说明书，请留下E-mail地址我发给大家。

作者: 镀膜加游戏 时间: 2004-11-29 01:40

你好!叫我海波吧!我把我的信箱给你留下,希望你可以做到,谢谢

mgl-yhb@163.com

作者: 超级狐狸 时间: 2004-11-29 17:11

yinuchia@yahoo.com

thank you!

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 21:16

请问在TELEMARK880晶控中,对Z系数的定义为:Z-Factor=[Dq*Uq/Df*Uf]1/2

其中q:石英密度，Uq:石英的剪切模数。DF:膜层密度，Uf:膜层的剪切模数。

请问各位老师：Uq即剪切模数数值在哪里可以查到。

作者: xiaoil 时间: 2004-11-29 21:22

请问厚度的重复性不好有什么高招？？？

作者: 光学论谈 时间: 2004-11-30 18:12

有两种可能:

1.电子枪发射的光斑不良.

2.材料粘附在传感器上.

解决方案:移动传感器,检查电子枪.更换新晶体.

作者: 镀膜加游戏 时间: 2004-11-30 18:40

作者: xiaoil 时间: 2004-11-30 19:30

P-I-D的设定:

请教那位老师:对P-I-D的设定有什么高招?

是否把I设定为0秒.

作者: 九十九点九 时间: 2004-12-2 21:27

880的中文说明书发我一份！！谢谢！！！！

AIISTA@163.COM

作者: dreamingwill 时间: 2004-12-2 23:08

我们用一次就不要了，如果再用一次，很容易导致晶控失效，这样浪费吗？

作者: 李伟华 时间: 2004-12-3 17:14

以下是引用dreamingwill在2004-12-2 15:08:00的发言：
我们用一次就不要了，如果再用一次，很容易导致晶控失效，这样浪费吗？

膜要求不高，我认为是可以再生使用的，但不应是简单的清洗。

最好要全部去膜，再返镀。

简单的清洗很难保证一致性和稳定。

作者: sajian 时间: 2004-12-3 22:04

我有办法将晶振片的使用寿命提高4－10倍，最少可以用到65％，而且不会影响精度，详情请电13077864087简生

作者: chz321 时间: 2004-12-4 07:47

以下是引用李伟华在2004-12-3 9:14:16的发言：
膜要求不高，我认为是可以再生使用的，但不应是简单的清洗。
最好要全部去膜，再返镀。
简单的清洗很难保证一致性和稳定。

最好要全部去膜，再返镀，请问返镀是再镀金吗，

作者: ypzhen218 时间: 2004-12-5 22:42
返镀一下就可以和其他的没区别一块使用吗?有什么缺点?

作者: 李伟华 时间: 2004-12-6 23:45

以下是引用ypzhen218在2004-12-5 14:42:34的发言： 返镀一下就可以和其他的没区别一块使用吗?有什么缺点?

缺点是灵敏度降低，使用寿命不如新的晶片

作者: xiaoil 时间: 2004-12-8 06:31

请问42偻的李先生：

返镀后的晶控片和新的晶控片有区别吗？

作者: 李伟华 时间: 2004-12-15 17:30

如果经过严格的再生工艺和测试程序，再生晶片和新晶片的品质差别不会太大的。

作者: xiaoil 时间: 2004-12-16 06:00

晶控片收到，谢谢李伟华先生。使用过程中有什么问题望李先生多赐教

作者: fzcool 时间: 2005-10-21 20:15

fzcool@sina.com

谢谢！

作者: yari1225 时间: 2005-10-21 22:55
yari993114@yahoo.com.cn

作者: Minli 时间: 2005-10-28 02:39

用MAXTEK的索相震荡器可延长晶控片的寿命.

如需要联系我.021-64384700

作者: wazxq 时间: 2005-10-28 06:10

能不能发一个TELEMARK880中文说明书，学习一下

wazxq2002@163.com 谢谢

作者: xfx9721 时间: 2005-10-28 07:52
提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

作者: nehufrd 时间: 2005-10-29 08:37
给我发一份，谢谢！
nehufrd163.com

作者: echanty 时间: 2006-11-15 20:19

谢谢！我也要一份。

clee@263.net

作者: yongwu 时间: 2006-11-15 22:59

给我发一份，谢谢！

wuyioe@163.com

作者: shuangzixing 时间: 2006-11-16 19:55

我们使用到９６％就不做了．不过我们会再次清洗．你发shuangzixing2002@yahoo.com.cn

作者: laosan 时间: 2007-1-18 04:37

给我发一份,谢谢

ccsuntao@163.com

作者: putinzhenkong 时间: 2011-9-23 11:45
苏州普京真空技术有限公司销售美国INFICON石英晶体膜厚控制仪：SQC310，SQM160，IC/5，IC/6。美国SYCON公司的SQM200，SQM180，STC2000A,STM-2膜厚仪及INFICON/SYCON膜厚仪配件：美国单探头，双探头，磁控溅射探头，螺旋真空接口，高温电缆，IC/5、IC/6锁相振荡器，陶瓷稳定器，手指弹簧，探头帽等。我公司产品性价比非常高，欢迎客户来电咨询。
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