光电工程师社区

标题: 用电子枪镀TiO2时，出现异常！大家来看看 [打印本页]

作者: seeyou1107 时间: 2004-11-4 21:47
标题: 用电子枪镀TiO2时，出现异常！大家来看看
在镀TiO2时，电子枪的高压示数一跳一跳的（突降一下），这是为什么啊，有什么解决的办法？

作者: tangjindao 时间: 2004-11-4 23:50
打开电子枪灯丝看一下是否是灯丝上有异物，或电子枪电流过大

作者: kingspc 时间: 2004-11-10 21:47
灯丝脏了或老化了，建议更换

作者: seeyou1107 时间: 2004-11-14 04:10

可是在镀sio2时，好像没有这种的情况的！过会儿我也把电子枪打开看看

作者: xfhu529 时间: 2004-12-7 23:15
我也遇到这种情况的，好象和离子源的使用有关系，有时候镀的过程中就自动停止了

作者: DANNY 时间: 2004-12-7 23:55
调整一下充氧管的位置！

作者: wottlin100 时间: 2004-12-14 21:00

5楼的是串压了！把电子枪的高压接线部分和离子原的接线部分实行屏蔽！要不然的话就是减少充气流量和提高本底真空！楼主有没有用离子原？

作者: matta 时间: 2004-12-15 21:53

电子枪打火啊，在Predeposit的时候有材料飞溅到枪头上了，不想放气的话试试加束流能不能将材料熔化。

作者: warms 时间: 2004-12-19 05:55
充气高了

作者: zjtzzw 时间: 2004-12-29 02:45
可能是有异物掉到材料上了，可以灯丝预热5分钟

作者: wuming791025 时间: 2004-12-29 03:59
呵呵，才料少了也会

作者: tju_dong 时间: 2005-2-16 16:03
filament老化，换个新的

作者: x_x_x_f 时间: 2005-2-17 03:50
在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？

作者: zz 时间: 2005-2-17 17:04

镀单层吗?还是过程中?

电子枪抱啥警?

作者: sanma 时间: 2005-2-18 03:18
我也出现过此情况，我觉是束流太大了

作者: xiaozhou 时间: 2005-2-18 07:25
标题: 回复：（seeyou1107）用电子枪镀TiO2时，出现异常！大...

这位老兄，请你检查电子枪灯丝或者电子枪高压接线部分接触位置是否未能接触好。我也曾经遇到过类似的情况。

作者: 帅的按不住 时间: 2005-2-22 18:10
离子枪冲氧的问题......韩国人也修过.但没修好

作者: flyinlove79111 时间: 2005-3-19 09:33
把电子枪拆了清洗一下，太脏了也会出现这种情况

作者: sam1900 时间: 2005-3-20 23:13
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作者: lubin 时间: 2005-3-22 05:10
请问楼主用的什么机器？

作者: dzk999 时间: 2005-4-15 06:38
13楼
在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？
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是不是设定的功率保护值太低了？

作者: zz 时间: 2005-4-15 16:42
灯丝会亮吗?电子枪报警提示是啥?

作者: x_x_x_f 时间: 2005-4-15 19:31
镀的是3曾膜的第一层Al2O3，应该没有设置功率保护值，以前也是用这样的功率镀的。警报是： EB On check error。报警时灯丝没有亮。怀疑是灯丝劣化了，但仔细观察灯丝没有问题。换了新的灯丝就好了。
这个情况在一机台上发生过多次，在其他机台上很少发生。
另外，我们的EB比较脏，会不会是接触上的问题？

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