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标题: 求助（光刻） [打印本页]

作者: hflin95 时间: 2004-11-5 21:48
标题: 求助（光刻）

光刻分辨率为1~2um，光刻胶的厚度1~2um，φ100mm，整个光刻流程需要哪些设备，大概各设备的价格及总投入需要多少，对环境的要求如何？

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