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标题: 急问：谁知道VASE（variable angle spectroscopic ellipsometer）是个什么仪器，中 [打印本页]

作者: abbygirl 时间: 2004-11-9 23:47
标题: 急问：谁知道VASE（variable angle spectroscopic ellipsometer）是个什么仪器，中
VUV-VASE from J.A. Woollam (Lincoln, Neb.) is a vacuum ultraviolet variable angle spectroscopic ellipsometer for determining the optical properties of films from 145 to 1700 nm. It has been used in the characterization of 157 nm-based lithography processes, and has the flexibility to measure the composition and thickness of oxynitride and perovskite gate materials, as well as high-bandgap semiconductor materials

作者: ufo008 时间: 2004-11-10 00:44

variable 多变的 angle 角度 spectroscopic 分光 ellipsometer 偏振光椭圆率计算仪

综合分析

作者: Insider 时间: 2004-11-10 03:07
可变角度的频谱椭偏仪。利用反射光的偏振特性改变来研究反射界面。主要用于薄膜的光学特性分析。

作者: abbygirl 时间: 2004-11-10 17:23
谢谢了

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