光电工程师社区

标题: 求教购买平面度仪 [打印本页]

作者: icewater 时间: 2004-11-23 06:39
标题: 求教购买平面度仪

各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！

作者: jackonlee 时间: 2004-11-23 18:35

我也想知道

作者: jackonlee 时间: 2004-11-24 19:23
两个面怎么测平面度？？？

作者: stevenwu 时间: 2004-11-24 20:38

我公司代理有美国的干涉仪，可以与我联系：021－54071828－705

或steven@infotek.com.cn

可以测量4英寸以上的，精度到1/20波长

作者: JetLee 时间: 2004-11-28 19:28

可以联系南京理工大学电子工程于光电技术学院陈磊教授，何勇副教授

那边是中国光学测试会专业委员会，有各种髙性价比的干涉仪

电话 025-84315427

作者: jimwang999 时间: 2004-12-3 18:59

求到了么?bj /

jim

作者: xyqy 时间: 2004-12-3 23:06

以下是引用icewater在2004-11-22 22:39:55的发言：
各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！

平面度检测仪？平面度仪？

不就是平面干涉仪嘛！

口径100以上的平面干涉仪就可以了。

国内应该也有几个做的厂家吧。

当然用进口的也可以，不过，似乎没有必要。

作者: 84262030 时间: 2009-7-9 10:13
您好！我在光电论坛上看到您对我们的AK系列干涉仪感兴趣，所以我想了解下您的具体应用，这样才好给您报价。

AK系列干涉仪共有两种型号，分别为AK-40(口径40mm)和AK-100(口径100mm)，主要为口径的区别，口径大的当然价格会贵。您平时测量需要的口径是多大？

您用干涉仪是测平面的还是测球面的？如果是只测平面的，仪器整体比较简单，性价比高。如果需要测球面的，仪器的整体支架会加装导轨，所配的镜头也会多一些，价格比只测平面的高，测球面的干涉仪也可以用来测平面。

另外，还有很多镜头可根据需要进行选择，比如不同R度的镜头，反射镜（用来测量平片的波前），等等。

下面给您报下采用标准配置的整套干涉仪的价格：

(1)    AK100平面测量系统：AK100平面總成+ 4" 平面穿透標準鏡頭+ AK100有調焦， $24200

                                                         相位頭 + 軟體， $16130

(2)    AK40 平面量測系統：AK40 平面總成+ 1.5" 平面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體，$13620

                                                         相位頭 + 軟體， $12910

(3)    AK40 球面量測系統：球面總成(下看型)+ 1.5" F/2.0 球面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體， $20000

                                                                  相位頭 + 軟體， $12910

我们这边提供售后培训和维护等服务，您也可以来我们这边现场看仪器。

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