测量膜厚的仪器 :multiple beam interferometer or a stylus-type profilometer,是不是复合光束干涉仪,针尖探头表面测量仪的意思啊,测量膜厚是用他们测吗
stylus-type profilometer 是用来测量表面平整度的
multiple beam interferometer 是测厚度的
平整度测定仪是根据光的折射原理制成。当一束平行光垂直射到某一均匀透明介质时,如果上下表面不平行,则透过介质的光线将发生偏离,通过光电效应使光讯号变成电讯号,在记录仪上自动记录下来,从而把玻璃表面不平整情况以曲缇形式表示出来。
stylus-type profilometer 是根据以上原理来测量吗
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