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标题: 镀BBO时出现整面的很细的亮路 [打印本页]

作者: chz321 时间: 2004-12-8 07:37
标题: 镀BBO时出现整面的很细的亮路

最近镀BBO晶体，只镀一层HFO2（400埃），后拿出来发现整面都有很细的亮路，

大家一起讨论一下可能引起的原因，

作者: zz 时间: 2004-12-8 22:12
不匹配

作者: hgw2001 时间: 2004-12-9 16:39
擦试的问题

作者: wottlin100 时间: 2004-12-9 20:04
切割角度为多少? 镀膜时温度多少? 我想擦的时候不至于看不见吧?

作者: chz321 时间: 2004-12-10 08:48

镀前擦拭时是看不见的，镀完后也看不见，可是镀完擦拭就出现细亮路了，

起初也是怀疑是擦拭，可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗，膜的牢固也很好，

真是头痛，大家帮忙想想办法吧，

作者: zz 时间: 2004-12-10 18:35
有亮路还说牢固度好，用橡皮头擦擦，还行吗？

作者: chz321 时间: 2004-12-11 07:37

用强力白胶带粘过，膜的牢固却实很好，

奇怪的是，镀厚后细亮路就没了，

作者: xcy1075 时间: 2004-12-13 05:22

有没有用离子原啊

作者: wottlin100 时间: 2004-12-13 20:47

排除了擦拭的原因了吗?

不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?

作者: coatingzhang 时间: 2004-12-14 01:33
如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂

作者: wottlin100 时间: 2004-12-14 20:07

顶！

作者: zz 时间: 2004-12-15 23:52
啥？镀厚亮路就消失了？现象重复吗？

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