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标题: YbF3、YF3的电子枪蒸镀问题 [打印本页]

作者: ferry 时间: 2016-4-5 10:01
标题: YbF3、YF3的电子枪蒸镀问题
如题，
用电子枪蒸发YbF3、YF3时，膜料用过多次后，变的粘稠状（熔融态下），如果用小束班，易挖坑。导致膜层厚度炉次变化（只用晶控）
如果把磨了表面层去掉，1是不好去除，2是太浪费；
有几个疑问：1
1电子枪打完膜料，表面层发黑，有无影响？
2每次镀完新加料后，对膜层质量有无影响？
3挖坑问题如何有效解决？
请老手帮解答下，谢谢！

作者: ferry 时间: 2016-5-10 14:36

xiaohuilee 发表于 2016-4-26 20:56
表面发黑我们都选择给去除掉有些地方很难去除试验证明对曲线影响不算太大但是要是保证每炉的重复性还 ...

表面发黑，除了坩埚污染？是不是还有因膜料失氟导致，因为除了表面变暗，发黑，还有膜料变的易挖坑。用过多次后，去除表面很难办到，都熔化一起了。有没有更好方式呢？
还有，氟化物预熔不好，对表面光洁度影响多大？
谢!

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