光电工程师社区

标题: 镀膜过程中速率不稳定 [打印本页]

作者: WENJINGREN 时间: 2016-5-23 14:47
标题: 镀膜过程中速率不稳定
大家好，镀膜前检查晶振片没有问题，检查晶振探头也都正常，但在镀膜过程中速率不稳定，变化很大，药品是提前预熔好的。请问可能是什么原因。谢谢。

作者: MorningTech 时间: 2016-5-23 14:59
如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意维护了。原因不少，坛子里也有帖子谈到这些问题。参考一下。
探头检查要有经验。
x10的振荡包出问题也是常事。

上海膜林科技有限公司，专业研制晶控仪厂商。

作者: WENJINGREN 时间: 2016-5-23 15:07

MorningTech 发表于 2016-5-23 14:59
如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意 ...

您好！能指教正确的检查方法，我们现在只能从外观及导通性上判断。谢谢

作者: WENJINGREN 时间: 2016-5-23 15:14

MorningTech 发表于 2016-5-23 14:59
如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意 ...

是速率上下乱跳，换晶振片后会改善，但同一批的晶振片在其它设备中使用没有这种现象。如果需要做维护，应该怎样维护呢，请赐教。谢谢。

作者: MorningTech 时间: 2016-5-23 19:42
探头通断用万用表可以量出来，判断导线问题不大，但晶振片的接触情况是量不出来的。比如说，弹片软了。
同时注意探头内部清洁和弹片弹力。
还有振荡包问题也会导致速率不稳。
离子源干扰等。

作者: WENJINGREN 时间: 2016-5-24 13:05

MorningTech 发表于 2016-5-23 19:42
探头通断用万用表可以量出来，判断导线问题不大，但晶振片的接触情况是量不出来的。比如说，弹片软了。
同 ...

谢谢指教，晶振片陶瓷座我们已经换新的了，探头内部清洁和弹片弹力考虑到，也作了清洁，弹片的弹力有点不够，我在从振荡包和内部弹片上检查一下，非常感谢您。

作者: wazxq 时间: 2016-5-28 19:42
晶振片本身不好的可能性更大

作者: WENJINGREN 时间: 2016-5-31 10:48

wazxq 发表于 2016-5-28 19:42
晶振片本身不好的可能性更大

但是同一个晶振片换到另一台机使用是正常的，所以一直考虑是这台机晶控有问题

作者: MorningTech 时间: 2016-5-31 19:35

WENJINGREN 发表于 2016-5-31 10:48
但是同一个晶振片换到另一台机使用是正常的，所以一直考虑是这台机晶控有问题

如果持续只这台机器有问题，晶振片问题的可能性不大。
晶控系统自身有瑕疵，或者有干扰，特别是后者，每台机器都不一样。

敝司晶控仪刚出来时，也曾被干扰搞得头大。2年前改进后，抗干扰能力有了大幅提升，比所见过其它品牌的都要强。
某地更换有强干扰的3x0机台的成功经验，更让我们自信满满，再未出现过突发失效(晶振片好时)，死机等情况。
虽然过程比较涩，但每次出手都能改进，痛快！

4年多来，敝司晶控仪从未有过数据丢失现象。

当然，强烈的电干扰还是很让人纠结，特别是离子源的中和不好时，甚至看到过晶振片表面有放电痕迹。
晶振片自身被放电打坏，晶控系统就无能为力了。

作者: WENJINGREN 时间: 2016-6-1 09:30

MorningTech 发表于 2016-5-31 19:35
如果持续只这台机器有问题，晶振片问题的可能性不大。
晶控系统自身有瑕疵，或者有干扰，特别是后者， ...

还想请教晶控冷却水温度控制在多少比较合适，我们这台机开门清洁时，时间长点会有冷凝水出现。

作者: WENJINGREN 时间: 2016-6-2 14:16

MorningTech 发表于 2016-6-1 17:43
晶振探头水冷温度 20-30度都可以用。
温度略高一点，对不凝水汽和成膜稳定性都有好处。
从重复性看，有条 ...

我们目前水温控制在20度以下，是整体冷却系统，水温有点低。承蒙指导，非常感谢。

作者: 526810162 时间: 2016-6-20 10:08
亲，你好啊，我们公司：深圳市康力华光电技术有限公司，公司的柜台地址：广东省深圳市华强北赛格电子市场高科德交易中心一楼13269号，大量供应欧司朗： SPL PL90-3 全新原装正品， OSRAM（欧司朗）脉冲激光管75W（原装进口），FirstSenson的APD500系列雪崩光电二极管管（带滤光片和不带滤光片的），80米相位法激光测距模块和进口电子元器件等！！业务联系电话：15889584682，联系人：何工，欢迎大家咨询订购，谢谢！

作者: MorningTech 时间: 2016-6-21 18:19
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商, 关于晶控的任何问题，可与我司进行交流。
2016光博会09.06-09，深圳会展中心 7号馆， 7F43
欢迎现场交流，展会期间订单有价格优惠。

作者: WENJINGREN 时间: 2016-12-10 13:00

MorningTech 发表于 2016-6-21 18:19
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商, 关于晶控的任何问题，可与我司进行交流。
2016光博会09.06-09， ...

您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在考虑更换晶控部品。想了解不更换XTC3的情况下可否使用贵司的晶控产品。如果可以能提供参考价格吗。谢谢，期待您的回复。

作者: MorningTech 时间: 2016-12-10 20:05

WENJINGREN 发表于 2016-12-10 13:00
您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在 ...

谢谢。
请与我司取得联系，方式见我司网站。可百度搜索 "上海膜林"。

上海膜林科技有限公司，专业于膜厚控制仪的研制。

作者: MorningTech 时间: 2016-12-29 08:30

WENJINGREN 发表于 2016-12-10 13:00
您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在 ...

我司晶控仪有个不同于频率的所谓晶振片损耗值参数，可以作为检查晶体和探头的参考。
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商

作者: 轩zjw哥 时间: 2018-1-25 20:24
看看什么宝贝。。。。。。

作者: 轩zjw哥 时间: 2018-1-25 22:04
没有高手吗？

作者: MorningTech 时间: 2018-1-26 18:52

轩zjw哥发表于 2018-1-25 22:04
没有高手吗？

多高算高手呢？呵呵。

作者: update 时间: 2018-2-23 10:01
是什么问题呢？大家可以发表一下自己的意见。

作者: charles2022 时间: 2018-4-6 13:36
学习学习，如果每炉都有，探头的问题可能性大一点

作者: huang12949 时间: 2018-6-16 16:55
这么久了，楼主肯定解决问题了。
判断晶振片质量好坏，只能装上去机器抽真空到达高真空后，还没有镀膜也没有开离子源的情况下，晶振片速率稳定在0.5（越小越好）以下是OK的，超过0.5，基本上该炉无法正常镀膜。
楼主说的这种情况，大多楼是配件问题，比如振荡包拿其它机台上互换来进行判断。

作者: MorningTech 时间: 2018-6-17 08:27
本帖最后由 MorningTech 于 2018-6-17 08:29 编辑

楼上的速率法是一种判断方法，一般应在 0.5以下，根据经验来.

仪器（含振荡包） + 连接电路（含探头各组件）+ 晶振片
(1) + (2) + (3)
都有可能出问题。
即使装上去一切正常的，也会有抽真空、加热以至于转动等各种返油性物粘附到晶振片表面，使得成膜不正常。
冷热变化也会带来连接异常。
膜林晶控仪，可以自检（检查仪器和振荡包）排查第(1)种
膜林晶控仪，损耗测量量测的是 (2)+(3)整体，可以通过更换晶振片来判断是否（2）关系更大。

作者: yong0009 时间: 2018-6-24 11:03
关注，学习了

作者: yuliang518 时间: 2018-6-29 04:59
学习了，谢谢大家

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)