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标题: 抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？ [打印本页]

作者: x_x_x_f 时间: 2004-12-23 06:23
标题: 抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？

抽真空一下午，只能达到这个真空度

真空系统为油扩散泵+机械泵+油回转泵

前些日子加过油回转泵的油，但另外两台机器也加了，没问题；

感觉不像是leakage

为什么呢？

作者: zz 时间: 2004-12-23 19:01

是否加热？有POLYCOLD？

作者: snebur 时间: 2004-12-23 20:56
标题: leakage during high vcuum
别排除高真空漏气的可能性！

作者: Leesnow 时间: 2004-12-24 23:14
看一下每个系统的抽气时间是否正常，逐个的排除！

作者: x_x_x_f 时间: 2004-12-27 05:19

有POLYCOLD的

抽的时间长了可以达到8.7E-4Pa

在抽气情况下转动各个转动部件压力无明显变化，没有出现微小的上升。

作者: Leesnow 时间: 2004-12-27 16:10

那肯定是不漏气了

作者: xiaohe 时间: 2005-1-5 19:35

如果你的POLYCOLD放在真空室，那可能是扩散泵返油造成抽速差，检查一下高阀是否有油严重的现象。

作者: 金炯 时间: 2005-1-7 21:08

其实这个系统抽到-3的量级应该可以接受了

作者: zz 时间: 2005-1-11 23:28
真空室脏不?抽气系统有问题.

作者: x_x_x_f 时间: 2005-1-13 18:05

原因找到了，是窥视窗旋转处的橡胶环坏掉了，现在好了。

可以抽到1.5E-5Pa

作者: ippsong 时间: 2005-1-15 01:11
恭喜恭喜

可喜可贺

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