光电工程师社区

标题: UVC波段鍍AR coating [打印本页]

作者: zmiin 时间: 2004-12-29 21:33
标题: UVC波段鍍AR coating

各位前輩好,有一問題想跟各位請教~

我想在Quartz鍍上310~800nm的增透膜,聽說可以利用ZrO2+SiO2可以做到,這樣的做法是正確的嗎?ZrO2在蒸鍍上需要注意什麼?設計膜層又該如何比較理想呢?

各位前輩有這方面的經驗或者有更好的方式嗎?請指教,謝謝~

作者: zmiin 时间: 2005-1-12 18:32
啊~~~沒有人會嗎?

作者: guangang 时间: 2005-1-13 17:57
我覺得用Ta2O5和SiO2更好一些！

作者: guangang 时间: 2005-1-13 18:08
看錯了，Ta2O5在350有吸收，ZrO2+SiO2可以做搭配，但是注意控制ZrO2的折射率變化，ZrO2是折射率負變；最好做非規整膜系，估計需要7層或更多層；另外機器的穩定性也很關鍵。

作者: cjyzq 时间: 2005-1-16 06:41
想在Quartz鍍上310~800nm的增透膜, 可以利用Hfo2+SiO2镀膜效果好。4楼友说得没差，但要注意短波处的吸收。

作者: zmiin 时间: 2005-1-18 02:15

謝謝4樓和5樓前輩~

之前我有曾考遇到Nb2O5,不過好像沒有HFO2來的理想是嗎?

但是HFO2的材料係數是怎樣呢?我沒接觸過啊,該又什麼樣的方式去做呢?蒸鍍式還是濺鍍方式?

可不可以請前輩提供材料資料給我呢?

謝謝

作者: yh15430 时间: 2005-1-18 05:52
HfO2可电子枪蒸镀~

作者: guangang 时间: 2005-1-18 17:29
HfO2用電子槍蒸鍍，我隻用過幾次，而且層數不多，不知道多層的效果如何！但是它從230nm--12000nm都透光，做紫外膜應該比ZrO2要好很多，ZrO2理論上300--8000nm透光，但是如果做的不好的話，310nm處可能會有吸收，不過有條件的話，可以兩種料都試試看，那種好就用哪種！

作者: laosan 时间: 2007-1-12 02:48

小弟是刚接触这个领域,麻烦问下 AR coating 是指增透膜的意思吗,

还有请问 AOI 是什么角度啊,谢谢关照.

作者: laosan 时间: 2007-1-12 02:56
标题: [求助]请教420--680nm增透膜

在BK7玻璃上镀增透膜,要求在420--680nm波段平均反射率小于0.5% .

请教各位可有什么好的建议,多谢关注.

作者: yuanguoxiang 时间: 2007-1-13 01:02
镀制ＵＶ－－ＡＲ膜可用ZrO2+SiO2非规整膜系镀制，１５－－１７层即可，晶控

作者: 逐梦者 时间: 2011-9-14 00:25
同意五楼的意见

作者: ghtzna 时间: 2011-9-19 09:29
这个建议使用HfO2把 ZR02 不稳定

作者: 革命小酒 时间: 2011-9-27 22:45
都是牛人

作者: ghtzna 时间: 2011-9-28 08:46
建议用HFO2 使用电子枪蒸镀 250度的时候折射率250nm处2.15 你可以先抓7Q

作者: ghtzna 时间: 2011-9-28 08:52

laosan 发表于 2007-1-12 02:56
在BK7玻璃上镀增透膜,要求在420--680nm波段平均反射率小于0.5% .请教各位可有什么好的建议,多谢关注.

这个可以不请参阅

哈哈哈

作者: sery1234 时间: 2011-9-28 10:52
5楼说的没错，HAO做紫外是很好的材料，就是容易出坑，控制上要注意点，另外楼主说的考虑用NB2O5 这个就不用考虑了这玩意380的吸收就已经很严重了，另外BK7上可见光波段做95以上的增透膜是很常见的品种，双面镀膜可以达到要求，单面在92-93 双面到95-96

作者: sery1234 时间: 2011-9-28 10:54
另外重复下，我这个是测量透过的结果，和测量反射的数据可能会有些误差，不过增透膜还是测量透过比较准

作者: sery1234 时间: 2011-9-28 10:56
哎今天脑子真是有点乱更正上面的单面95-96 双面99以上

作者: bai3697 时间: 2011-9-28 17:13

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