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标题: 关于ITO蒸镀的问题 [打印本页]

作者: breadzhu 时间: 2016-8-31 10:33
标题: 关于ITO蒸镀的问题
请问是否能低温蒸镀ITO，现在因为基材的问题不能加太高温度，用离子镀的效果不太好

作者: dagege 时间: 2016-8-31 19:10
同问，有用过的大虾请不吝赐教

作者: coaterxf 时间: 2016-9-25 22:22
可以。
电子枪蒸发，速率1.5A/S左右，控制好离子源的氧气流量，膜厚20nm左右。

作者: 良哥 时间: 2017-1-12 18:43
温度和氧气浓度对ITO影响很大，主要看你什么样的要求，如果蒸发机镀，温度不够高的话，又要求低阻值，问题较大

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