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标题: 请问IC5设备的膜厚问题 [打印本页]

作者: cikelong2000    时间: 2004-12-30 21:44
标题: 请问IC5设备的膜厚问题
IC5里面的膜厚如何输入?还有在PROCESS下输入的数据和膜厚有什么关系??我现在知道输入的一组参数类似与膜厚但不是,一个5层的,2548 ,310,112,800,800,如何转换成膜系结构
作者: cikelong2000    时间: 2005-1-5 18:17
没有人愿意帮助我吗??斑竹求救呀




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