光电工程师社区
标题:
请问IC5设备的膜厚问题
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作者:
cikelong2000
时间:
2004-12-30 21:44
标题:
请问IC5设备的膜厚问题
IC5里面的膜厚如何输入?还有在PROCESS下输入的数据和膜厚有什么关系??我现在知道输入的一组参数类似与膜厚但不是,一个5层的,2548 ,310,112,800,800,如何转换成膜系结构
作者:
cikelong2000
时间:
2005-1-5 18:17
没有人愿意帮助我吗??斑竹求救呀
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