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标题: 球面轮廓测量仪 [打印本页]

作者: surlen 时间: 2016-12-26 16:10
标题: 球面轮廓测量仪

基于相位恢复技术实现器件球面轮廓三维测量，可应用于球面透镜、球面反射镜等器件的面型测量。

系统性能指标：

激光波长：635nm

器件口径：f1mm-f300mm

球面曲率半径：2mm-100mm

测量精度(PV值)：10mm

可实现系统像差分析以及器件面型误差分析

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