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标题: 光刻胶电子枪蒸镀金后出现黑点 [打印本页]

作者: HGcoating 时间: 2017-4-16 09:30
标题: 光刻胶电子枪蒸镀金后出现黑点

作者: HGcoating 时间: 2017-4-16 09:31
光刻胶上面用电子枪蒸镀金后出现黑点，扩氮化硼锅

作者: HGcoating 时间: 2017-4-25 16:38
圆黑点是什么

4 TI PT AU.jpg (886.06 KB, 下载次数: 163)

作者: HGcoating 时间: 2017-4-25 16:40
表面电子枪蒸金 500nm 后显微镜下看有圆圈黑点，是什么？

作者: update 时间: 2017-5-4 09:40

作者: coaterxf 时间: 2017-5-12 22:50

HGcoating 发表于 2017-4-25 16:40
表面电子枪蒸金 500nm 后显微镜下看有圆圈黑点，是什么？

服了你了，呵呵。
金也不是黑色的啊！
我这里都是CrNiAu，没黑点。
你的黑点是不是材料喷溅造成的。

作者: HGcoating 时间: 2017-5-23 13:14
扫电黑点成分为金和碳，不知道原因如何形成，是材料本身问题还是设备脏污问题

作者: ouyuu 时间: 2017-6-2 18:06
坩埚是什么材质的？石墨坩埚吗？
电子枪光斑如何？预加热程序是如何走的？
估计是喷溅

作者: 也许没名 时间: 2017-6-7 13:00
没有放大到这个程度看过，是凸点吗？

作者: HGcoating 时间: 2017-6-22 17:09

也许没名发表于 2017-6-7 13:00
没有放大到这个程度看过，是凸点吗？

扫电测试是凸出来的，附在表面用摄子可以拨动

作者: HGcoating 时间: 2017-6-22 18:56

ouyuu 发表于 2017-6-2 18:06
坩埚是什么材质的？石墨坩埚吗？
电子枪光斑如何？预加热程序是如何走的？
估计是喷溅

坩埚是氮化硼的，光斑看上去很稳定，速率也很稳

作者: HGcoating 时间: 2017-6-22 19:00
镀钛和铂没有黑点问题

作者: HGcoating 时间: 2017-6-22 19:07

coaterxf 发表于 2017-5-12 22:50
服了你了，呵呵。
金也不是黑色的啊！
我这里都是CrNiAu，没黑点。

你们金用什么坩埚啊

作者: HGcoating 时间: 2017-7-4 15:05
更换钋坩锅后没有黑点了，问题解决。

作者: xiaohuilee 时间: 2017-10-10 18:31

HGcoating 发表于 2017-7-4 15:05
更换钋坩锅后没有黑点了，问题解决。

钋坩埚有这种坩埚吗？

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