光电工程师社区

标题: 关于国产机镀铝的问题 [打印本页]

作者: 90282972 时间: 2017-4-30 10:45
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作者: a99533126 时间: 2017-5-7 00:46
最后加点ti3o5,用Al2o3做保护层。

作者: 90282972 时间: 2017-5-11 13:54
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作者: riy2000 时间: 2017-5-12 16:26
估计是真空度太低了，金属铝层不牢。

作者: coaterxf 时间: 2017-5-12 22:33

riy2000 发表于 2017-5-12 16:26
估计是真空度太低了，金属铝层不牢。

1. 针孔是镀膜前镜片表面洁净度不够。
2. 镀铝用漏斗型钨丝或电子枪+导电陶瓷坩埚镀膜，速率25A/S时候反射率最高，气压越低越好。镀铝要低温，离子源用也只能霍尔，纯氩气。
3. 保护层：升温到150℃，再镀SiO2大概30nm，开离子源。

作者: riy2000 时间: 2017-5-13 10:22

coaterxf 发表于 2017-5-12 22:33
1. 针孔是镀膜前镜片表面洁净度不够。
2. 镀铝用漏斗型钨丝或电子枪+导电陶瓷坩埚镀膜，速率25A/S时候反 ...

果然是高手，说得很明白。

作者: truckcar 时间: 2017-5-19 17:16
二次清洗才能避免针孔。铝直接加二氧化硅欠考虑

作者: update 时间: 2017-5-22 09:38

作者: 90282972 时间: 2017-5-23 13:22
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作者: huang12949 时间: 2017-5-25 16:39
SIO2不用加氧气啊，金属速率25并不大，如果说电流大，电子枪镀会有这个问题

作者: ouyuu 时间: 2017-6-2 18:03
SiO2不加氧会变黄。部分是以SiO的形式存在。

作者: 也许没名 时间: 2017-6-7 13:04

多少镀铝的高手

作者: zjtiantao 时间: 2017-11-17 08:51

作者: update 时间: 2017-12-1 09:13

作者: 无良作品 时间: 2017-12-25 17:56
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作者: sgh920 时间: 2018-1-12 06:56
学习了，众多高手

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