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标题: 球面轮廓测量仪 [打印本页]

作者: surlen    时间: 2017-6-14 11:04
标题: 球面轮廓测量仪
球面轮廓测量仪

基于相位恢复技术实现器件球面轮廓三维测量,可应用于球面透镜、球面反射镜等器件的面型测量。
系统性能指标:
激光波长:635nm
器件口径:f1mm-f300mm
球面曲率半径:2mm-100mm
测量精度(PV值):10mm
可实现系统像差分析以及器件面型误差分析


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