光学3D表面轮廓仪的测量原理 - 光电工程师社区

SuperView W11200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件，在软件测量界面上设置好视场参数，调整镜头到接近器件表面，选择自动聚焦，仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹，调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量；扫描结束后，软件分析界面自动生成器件3D图像，操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析，获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。

1、高精度、高重复性、高稳定性

1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；

2）精密的Z向扫描模块和独特的测量模式，保证测量重复性高；

3）高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。

2、自动化操作的测量分析软件

1）测量初始的自动聚焦，帮助操作者省却繁琐的调节过程；

2）独特测量模式，帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品；

3）可视化窗口，便于操作者实时观察扫描过程；

4）直观的软件分析界面，便于操作者第一时间获悉样品参数信息；

5）强大的数据处理与分析功能，帮助操作者深入了解被测样品情况；

6）一键分析，便于操作者快速实现大批量测量；

7）同步分析，实现对样品分析操作的所见即所得；

8）可视化的报表导出（可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档）。

3、测量参数齐全

根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数，让操作者对被测样品的认识更加全面具体。

4、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。