光电工程师社区

标题: 干法刻蚀 [打印本页]

作者: wanglan    时间: 2005-1-31 18:03
标题: 干法刻蚀
有谁知道如何防止干法刻蚀过程中(Ar离子束刻蚀)由于高温而导致光刻胶变质的问题,除了在GaAs片子背面涂硅脂之外。
作者: charlesjian    时间: 2005-2-7 22:44
标题: 提供光刻胶,环氧树脂粘合剂,包封剂,蚀刻剂

中电网EMD(半导体设备与材料部)

美国Transene公司为您提供高级的微电子化学品:

——蚀刻剂ETCHANTS

——环氧树脂粘合剂EPOXY ADHESIVES

——光刻胶PHOTORESIST MATERIALS

——包封剂ENCAPSULANTS

——各种半导体材料SEMICONDUCTOR MATERIALS

微电子产品经营范围包括介电材料、半导体、玻璃、电阻材料、粘合剂、电泳电极涂料、微波材料、保护涂料、光电导体、金属配方和化学蚀刻剂等。产品广泛应用于半导体微型电子产品、薄膜和厚膜混合体、微型电子线路、电子构件和其他电子产品等。

微电子产品目录

半导体材料

清洗剂和抛光剂

· Transene-100

· Transene 超声洗涤剂(TUD)

· 实验室玻璃清洗剂LGC-300

· ESP

· Polimet

· Polmet

· Sequestrox

· 超纯水

· 四甲基氢氧化铵– TMAH

扩散剂

· 固体扩散剂

· N 和P 扩散液

供微电子线路使用的薄膜和半导体蚀刻剂

· 制导体-电阻网路可选用的蚀刻剂

· 薄膜蚀刻剂

· 蚀刻剂/金属的匹配性表

· 薄膜蚀刻剂使用指导(列表)

· 铝蚀刻剂A 型和D 型

· TRANSETCH – N

· 铬蚀刻剂

.. 铬蚀刻剂1020/1020AC

.. 铬蚀刻剂CER-473

.. 铬光掩膜蚀刻剂

.. 铬蚀刻剂CE-8001-N

.. 铬蚀刻剂CE-8002-A

· 印刷电路铜蚀刻剂

.. CE-100、CE-200 和APS-100

· 砷化镓蚀刻剂GA-100、GA-200 和GA-300

· 磷化稼蚀刻剂GaP

· 金蚀刻剂

.. 金蚀刻剂TFA/GE-8148

.. 金蚀刻剂TFAC

.. 金蚀刻剂GE-8110 和GE8111

· 氧化铁光掩膜蚀刻剂

· Kopton 聚酰亚胺膜蚀刻剂

· TFM 钼蚀刻剂和TFW 钨蚀刻剂

· 镍铬蚀刻剂TFC 和TFN

· 镍蚀刻剂

.. 镍蚀刻剂TFB 和TFG

.. 镍蚀刻剂Ⅰ型

· 钯蚀刻剂和铂蚀刻剂

· 半导体蚀刻剂

· 择优硅蚀刻剂

· 太阳能电池蚀刻剂

· WRIGHT(工匠)蚀刻剂和AB 蚀刻剂

· 二氧化硅蚀刻剂

.. 加HF 改进的缓冲剂

.. BD 蚀刻剂

.. 二氧化硅蚀刻剂

.. TIMETCH 蚀刻剂

.. Silox Vapox Ⅲ 蚀刻剂

· 银蚀刻剂TFS

· 钽蚀刻剂SIE-8607 和111

· 钛蚀刻剂TFT 和TFTN

· 钛-钨TiW-30

· 氧化锡/氧化铟锡蚀刻剂TE-100

· 电子级试剂

散热油和真空油

· 真空油Vacoil®

· Xtherm 散热油

· Xtherm AG 导电散热油

· 技术用蜡Tech - Wax®

光刻材料

· PKPⅡ光刻胶

· NPD 阴性光刻胶显影剂

· 阴性光刻胶去除剂

· 阴性光刻胶化学试剂

· 阳性光刻胶去除剂

· 光掩膜涂料

· 六甲基二硅氮烷(HMDS)

· 电子级溶剂

环氧树脂粘结剂

导电粘结剂

· Ohmex AG

· 银环氧树脂膏,Ⅰ型和Ⅱ型

· 银金属涂膜剂

· 银粘结剂40,50,60

· 微电路银

· 纳米环氧树脂Nanopoxy 60

· 金环氧树脂膏10,20,30,40

· 聚酰亚胺膜粘结剂

· 表面固定粘结剂

· 导电孔道填充粘结剂CVF-6030

绝缘粘结剂

· 绝缘环氧树脂粘结剂(单组分)13,14,15

· 绝缘环氧树脂粘结剂(双组分)16,17

· 光学环氧树脂20,30

· 环氧树脂50 密封粘结剂

用于电子包装的包封剂

用于封装的环氧树脂

· 环氧树脂125/175/200/225

· 环氧树脂XS-531

· Epotherm/130/180 导热环氧树脂

用于封装和包封的硅酮

· Translastic RTV 111/141/130/160

· Translastic RTV 1602

· Translastic S-2007 硅酮半导体结涂料

· 半导体结涂料,Ⅰ型

· 半导体结涂料,3811/3812

· 硅酮半凝胶

· Thermasil 导热防火硅酮

· 辐射固化的包封剂

· 硅涂料(Silicoat)

高纯钝化材料

· 用于半导体的SES 硅酮弹性体

· SES 黑

· MBS 抗湿硅酮

· SSE 自催化硅酮弹性体

电阻器涂料

· Hybrisil

· Q-Lac

· 电阻器涂料

倒装片包封剂(underfill)

· 高纯度快速固化包封剂Underfill 25

美国Transene公司为您提供高级的微电子化学品,包括—供微电子线路使用的薄膜和半导体蚀刻剂ETCHANTS——环氧树脂粘合剂EPOXY ADHESIVES——光刻胶PHOTORESIST MATERIALS——包封剂ENCAPSULANTS——清洗剂和抛光剂。产品广泛应用于半导体微型电子产品、薄膜和厚膜混合体、微型电子线路、电子构件和其他电子产品等。

Transene(USA)Cathode Coatings,Conformal Coatings,Electroplating chemical,Encapsulants,Epoxy Adhesives,Thin Film and Semiconductor Etchants,Photoresist Materials,Printed Circuit Board Manufacturing Materials,Diffusants,Cleaning and Polishing,Junction Coatings化学试剂等. 网址:www.transene.com

中电网EMD(半导体设备与材料部) 上海办 联系人: 刘健博 电话: (021)63067401, 63641524, 63070628,63576987 手机: 13817263826 传真: (021)63575707 E-mail: liujianbo@ChinaECNet.com 地址: 上海市虹口区四川北路525号宇航大厦2012室 邮编: 200085 网址: www.chinaemnet.com






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