光电工程师社区

标题: 帮忙给点建议，谢谢 [打印本页]

作者: sharmoon 时间: 2005-3-15 04:22
标题: 帮忙给点建议，谢谢

请问高人：

在波长为190纳米处，入射角为45度，在基片上镀铝能否实现反射率为60％？在铝膜外镀MgF2作为保护膜可以么？

3aJVPacV.gif (5.28 KB, 下载次数: 23)

帮忙给点建议，谢谢

作者: yin99 时间: 2005-3-15 05:46
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作者: snebur 时间: 2005-3-15 08:12

铝膜外最好镀Sio2 作为保护膜！MgF2容易潮解。暴露于空气中不稳定。Sio2作为保护膜可能较好！

作者: zz 时间: 2005-3-15 16:04
SIO2在190NM处不能用.

作者: 风之炫彩 时间: 2005-3-19 06:35

为什么二氧化硅在190nm不能用

作者: flyinlove79111 时间: 2005-3-19 09:23
Sio2可以用啊，我们都做过了，效果不错

作者: wazxq 时间: 2005-3-20 00:00
SiO2应该不行吧，没做过，

作者: wazxq 时间: 2005-3-20 00:02
紫外光用膜系软件模拟意义不大，6楼做出来后又没有产品的测试数据

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