光电工程师社区

标题: [求助]表面粗糙度的测量？ [打印本页]

作者: lxuezhang 时间: 2005-3-23 17:49
标题: [求助]表面粗糙度的测量？
表面粗糙度在1埃以下，如硬盘盘片的cmp抛光，Ra0.5Å，是用何种仪器测量的？可信否？

作者: zphhappy2002 时间: 2005-3-25 19:49
现向你推荐美国SCI公司的薄膜测试仪器,本公司的测试器是针对一些MEMS,薄膜测试.Measurement Features

测量特征

FilmTek™ 1000

FilmTek™ 1500

FilmTek™ 2000

FilmTek™ 3000

FilmTek™ 2000SE

FilmTek™ 4000

Index of Refraction折射指数 (at 2µm thickness)

±0.005

±0.002

±0.0002

±0.00002

Thickness Measurement Range

厚度测量范围

10nm-150mm

5nm-150mm

1Å-150mm

3nm-350mm

Maximum Spectral Range

最大光谱范围

380-1000nm

190-1700nm

Standard Spectral Range

标准光谱范围

380-1000nm

240-860nm

240-1000nm

380-1000nm

Reflection反射测量

Transmission透射测量

Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量

Power Spectral Density

功率谱密度测量

Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量

Both TE TM Components of Index

Multi-layer thickness

多层厚度测量

Index of Refraction

折射系数测量

Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数

Energy band gap

能量带隙测量

Composition成分测量

Crystallinity晶状测量

Inhomogeneous Layers

非均匀层测量

Surface Roughness

表面粗糙度测量

如有问题请与我们联系:0755-83342710,或:13632712541. Email:zoupuhong@chinecnet.com 祝工作愉快! 邹普红

作者: Jackysurface 时间: 2005-12-27 05:47

zygo轮廓仪，精度也很高的了???

怎么个高法？

作者: catlw 时间: 2005-12-28 05:46
标题: 表面粗糙度的测量
可以用原子力显微镜实现。

作者: 2614162 时间: 2005-12-28 21:28

有没专门测量单位，我有些片子想测量

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)