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标题: 求宽光谱膜厚监控系统的供应信息 [打印本页]

作者: southeen 时间: 2005-4-1 00:25
标题: 求宽光谱膜厚监控系统的供应信息

各位大侠知道什么公司出这套系统，哪种性价比不错？

我是新手，多谢指导。thx~

作者: ic5 时间: 2005-4-1 16:08

我不清楚你的波段是在哪个范围的。

据我了解，日本OPTORUN公司有他们自己开发的膜厚监控系统HOM系列，但不知道是否能满足您的需求。具体你可以联系OPTORUN（上海）有限公司的陆克年先生 021-36161290

作者: sajian 时间: 2005-4-1 21:49
标题: 美国telemark公司OM820光控

我公司利方达真空技术深圳公司专业代理美国telemark公司的OM820全光谱光学膜厚控制仪。该光控今年在广东地区就已经上了4套，使用的效果非常不错。

主要特性： • 200～900nm全光谱分析：对监控基片的透射和反射进行全光谱分析； • 多膜层终点设定：可设定每一膜层的终点； • 沉积过程实时分析：当真空室内材料发生变化，其对应的光谱变化可以反映出来； • 可选的离线测量功能； • 等离子体诊断。性能参数：光谱范围 450～850nm（卤素灯光源），200～900nm（氘灯光源）灵敏度 2200光量子@600nm 响应 4.5×10-4库仑/焦耳/cm2 暗电流 2微微安准确度/稳定性全量程≤0.2％最短信号获取时间 50毫秒

如需更详细的资料，请联系：0755－26066939，13077864087 简俊勇先生

作者: cikelong2000 时间: 2005-5-17 21:01
我们公司的宽光谱监控系统是国内开发的最新产品，国内已有多家用户使用，反应效果相当良好，同时赠送膜系设计软件，有一流快速的售后服务，并提供有偿工艺指导！详细请http://www.goldway.com.cn/product/productshow.asp?id=154，如有需要 xlli@goldway.com.cn 13693572892 010-58051723

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