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标题: 关于pecvd镀膜 [打印本页]

作者: huafei920    时间: 2005-4-4 02:26
标题: 关于pecvd镀膜
关于pecvd镀膜的厚度、折射率、致密性与工作气流量、工作温度、工作气压即功率之间的关系?   请哪位高手指点一下!谢谢!
作者: strongsavage    时间: 2005-4-20 18:24
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[ 本帖最后由 strongsavage 于 2008-9-3 08:59 编辑 ]




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