光电工程师社区

标题: 请问镀硅用什么坩埚好？ [打印本页]

作者: milo 时间: 2005-4-5 07:28
标题: 请问镀硅用什么坩埚好？

用铜可以吗？

thx

作者: zz 时间: 2005-4-5 22:52
可以啊//////////////////////////////

作者: 67866110 时间: 2005-4-6 11:03
硅，我们所用的是氧化铜坩埚。铜也可以吧

作者: 67866110 时间: 2005-4-6 11:15

用氧化铜钳埚

作者: zz 时间: 2005-4-6 19:15

氧化铜坩锅有啥优点?说来听听.

作者: zz 时间: 2005-4-6 19:20
氧化铜有何优点?谁给说说.

作者: 67866110 时间: 2005-4-7 23:53

氧化铜在高真空下不会产生气体还有你们自己想吧

作者: sanma 时间: 2005-4-8 03:00

用石墨坩埚不错，不会喷溅　

作者: zz 时间: 2005-4-8 16:27
晕,会产生气体还能用吗?

作者: flashzhang 时间: 2005-7-10 08:57
高真空高温下都不能产生气体的才能做坩埚

作者: swqtiger 时间: 2005-7-25 08:52
咱们家用无氧铜，效果不错，可以试试．

作者: snebur 时间: 2005-8-27 18:55
si 属于軟膜，可以考虑热阻蒸发！氧化铜坩锅是什么样的，在下真的没有见过，导热性差怎么冷却？请大侠指导！

作者: zz 时间: 2005-8-29 17:06
它熔点高,如何热蒸发???????????????
楼楼上说的氧化铜可能就是无氧铜

作者: mxb010ak47 时间: 2005-8-31 00:52
无氧铜坩埚。
氧化铜坩埚是什么东东？

作者: newnicer 时间: 2005-8-31 06:27
用石墨坩埚不错，不会喷溅-------为什么

作者: zheng 时间: 2005-8-31 06:42
我们用的是石墨坩埚，不太清楚为啥一定要用他，不过这种坩埚电流加的稍不均匀就合开裂，整锅产品就会没了。

作者: 王李 时间: 2005-9-1 04:59
须用无氧铜坩锅，他不会放气。真空下稳定，导热性很好。

作者: yzhuang 时间: 2005-9-13 22:41
偶用的也是无氧铜坩埚，感觉不错．

作者: lasertgt 时间: 2005-9-13 23:41
不用特意用坩埚，比如说用电子束蒸发的话直接放进坩埚就行了。

作者: hongshairy 时间: 2005-9-14 04:58
石墨不错！！
就是控制上有难度！！
一旦掌握，就可以得到稳定的速率。
无氧铜也可以。

作者: royyang 时间: 2012-6-25 14:15
学习

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