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标题: [求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜？ [打印本页]

作者: mood 时间: 2005-4-13 03:19
标题: [求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜？

用PECVD法在不锈钢上镀上了1um的二氧化硅，现想将二氧化硅洗掉，重新利用那块不锈钢片，用什么方法好呢。

谢谢。

作者: sauke 时间: 2005-4-13 19:50
氟化氢氨溶液来泡。注意低温通风哈。

作者: hacker 时间: 2005-4-18 00:42
可试试喷砂之方法，喷完砂后最好用酒精或丙酮擦拭干净。如果条件允许的话再用超声波清洗一下，烘干后就可使用。

作者: tlean 时间: 2005-4-18 02:00
还是用氢氧化钠好，绝对不破坏基材

作者: snebur 时间: 2005-4-18 04:29
氢氟酸0.5% mol,注意HF对于眼睛鼻子有刺激，当心使用！

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