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标题: [求助]请教定值法光学监控的原理是怎样的？ [打印本页]

作者: vietti 时间: 2005-4-20 22:51
标题: [求助]请教定值法光学监控的原理是怎样的？
请教定值法光学监控的原理是怎样的？

作者: ic5 时间: 2005-4-22 17:09

定值法？是什么东东，能说详细点吗？

作者: vietti 时间: 2005-4-22 19:14
极值法是每层膜到极值点停，但极值点的判断很容易产生误差。
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。
具体是怎样？哪位可以说说？

作者: zz 时间: 2005-4-22 21:05
好象不是你说的那样：极值法到极值点停；定值法即到定值法停。得通过多次实验才可确定定值。理论上应是极值法的精度高。
是否镀下一层还是该点停，我看未必，得根据你的设计膜厚而定。

作者: adongs_zju 时间: 2005-4-22 21:33
我觉得3楼的说的有道理。我的理解是：
极值法是每层膜到极值点停，然而在极值的地方dT/dt=0，也就是说透过率（或者反射率）对膜层厚度的灵敏度最小，因此极值监控的厚度误差比较大，不过比较容易监控----到（过）极值就停。
定值法选择某个监控波长，算出这一层的反射率值，光控到这个点就停。
可能需要自己试验摸索一下吧！

作者: eagle1 时间: 2005-5-8 04:37
我觉得极值法好像是接近于极值点的地方停。有那位更清楚的大家请出来介绍一下。

作者: wazxq 时间: 2005-5-8 19:24
看了楼上的讨论，我的观点是
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。

这种做法是不可取的，这种算法比用极值法误差大很多，由于镀膜时状态是时时变化的，这种算法是做理论的人想的，实际没有意义。
真正采用的是依照PEAK等通过算法计算出停镀点的

作者: zz 时间: 2005-5-8 22:32
也不能说是不可取的,若只是同一膜系,可通过经验总结出适用定直点.

作者: yybeyongyy 时间: 2005-6-6 14:23
定值法适用于截止滤光片的监控。它比定值法有更高的监控精度，能避免镀制H/2的麻烦。它用控制波长监控，监控波长在截止波长附近（通过在监控片上预镀来实现）。定值是可以计算出来的，监控方便。
我从书上看的。

作者: yybeyongyy 时间: 2005-6-6 14:35
我做毕业设计，是长波通滤光片的定值法监控。所以只知道点对截止滤光片了解。

作者: xiaozhou 时间: 2005-6-7 06:38
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长，镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止，镀下一层膜时还是到这个点停，相对极值法可减少很多误差。

这种做法是不可取的，这种算法比用极值法误差大很多，由于镀膜时状态是时时变化的，这种算法是做理论的人想的，实际没有意义
以上观点我觉得不对，定值法在现实生产中应用也是较多的，很多全自动镀膜机就是应用的该方法来控制的。它也并不是一定要走的定数，象过极值的我们一般是设计出一个系数来，跟据头一个极值来乘以该系数得到它的走值。

作者: xiaozhou 时间: 2005-6-7 06:41
当然一个控制比较片控制的层数越少越准确

作者: yh15430 时间: 2005-6-7 07:30
标题: 回复：（xiaozhou）当然一个控制比较片控制的层数越少...
9楼说法准确，定值法主要用于镀制长波通滤光片，其控制的产品成品率高于极值法的成品率！

作者: zz 时间: 2005-6-7 15:53
12楼的,应是越多越准确

作者: yzhuang 时间: 2005-9-15 05:24
极值法比较简单，规整膜系常用，定值法我一般是用来镀不规整层的．不知各位大虾是怎么做的？

作者: raofengx 时间: 2005-9-15 18:20
定值法比极值法精确，shinron镀膜机上带的有计算软件，具体说，不到一个极值的，算出应该停的点，大于一个极值的，算百分比，
理论上也是可行的，R=R(nd),那么，根据nd当然可以算出R，那位计算机水平高，可以设计一个程序，大家共享了

作者: zhouchen0510 时间: 2008-7-2 18:48
请问大家谁有定值法方面的论文资料什么呀

作者: nation 时间: 2008-7-2 22:57
光学薄膜的控制方法太多了，但都是一个原理，用什么方法去控制不重要，重要的是这个方法适不适合你。

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