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标题: [求助]各位离子镀高手 [打印本页]

作者: oc77 时间: 2005-4-28 04:59
标题: [求助]各位离子镀高手
各位高手：
　　本人不慎遇到在离子镀膜后出现脱膜的现象。望各位赐教。谢谢！

作者: zz 时间: 2005-4-28 15:49
离子镀应该牢固度很好才对.
是否基片没清洗干净?或是应力过大?或基材和药材不匹配?

作者: oc77 时间: 2005-4-29 06:48
谢谢2楼楼主了
　　我也不知道怎搞的？同样的清洗方法、同样的基片。但放在不同的设备里镀（都是离子镀）。效果就不一样。我们还用不同的设备做了相同的实验。结果表明应该是设备的问题。但我们仔细查找却找不去一个所以然来。真是失败。
　还得请各位高手指点。谢谢！！！

作者: x_x_x_f 时间: 2005-4-29 19:02
设备有问题的话，会不会是返油？

作者: wazxq 时间: 2005-4-29 20:49
要保证离子源没有问题，不要看到离子源发光就觉得有离子输出。拆开来用仪表测测

作者: zz 时间: 2005-4-29 21:19
那就一个个排除吧
正如楼上所说的,先对设备进行彻底的清洗.若无效果,则离子源有问题.

作者: Jesus 时间: 2005-4-29 22:28
wazxp:
能说下测量离子源输出真实束流的方法吗？例如在基片盘附近放置探测器？

作者: wazxq 时间: 2005-5-5 23:28
这个我没有做过，不好说，不过一些设备厂商说他们做过，测到了工件上每个位置的Ion beam current density.

作者: wazxq 时间: 2005-5-7 19:20
http://www.pfeiffer-vacuum.com.hk/product/massspectrometer/ppm422.htm

作者: zjtzzg 时间: 2005-5-7 21:00
离子源束流与脱膜，这该如何解释？

作者: zz 时间: 2005-5-8 16:39
应力过大.
确实有测离子流或是能量的设备,但应该是做均匀性分析更好.

作者: oc77 时间: 2005-5-9 07:22
非常感谢你们提出了这么多好的建议。谢谢！
不过有些基片看上去是镀上了，但做了一个循环的腐蚀膏测验后就会出现掉膜的现象。这又是什么原因造成的呢？还请各位多多赐教。谢谢！

作者: oc77 时间: 2005-5-10 06:45

[B]以下是引用[I]oc77[/I]在2005-5-8 23:22:53的发言：[/B][BR]非常感谢你们提出了这么多好的建议。谢谢！
不过有些基片看上去是镀上了，但做了一个循环的腐蚀膏测验后就会出现掉膜的现象。这又是什么原因造成的呢？还请各位多多赐教。谢谢！

针对这一现象我们对真空室仔细清洗过。离发源也应该没问题。

作者: oc77 时间: 2005-5-11 05:08
各位大侠请多指点。谢了！

作者: zz 时间: 2005-5-11 21:19
你的膜牢固度不好.
腐蚀膏实验是啥啊???

作者: oc77 时间: 2005-5-12 05:41

[B]以下是引用[I]zz[/I]在2005-5-11 13:19:52的发言：[/B][BR]你的膜牢固度不好.
腐蚀膏实验是啥啊???

是测试抗腐蚀能力的一种试验。

作者: zz 时间: 2005-5-13 17:33
那和盐雾实验差不多.
八仙过海,各显神通.

作者: oc77 时间: 2005-5-14 03:54

[B]以下是引用[I]zz[/I]在2005-5-13 9:33:50的发言：[/B][BR]那和盐雾实验差不多.
八仙过海,各显神通.

是的。盐雾实验我们一般只用在水电镀方面。

作者: moweishou 时间: 2005-5-16 05:30
em01]我是刚入行的那位大哥大姐帮我个忙
是al2o3810 和maf21294的位置镀反了后来加补maf21294但波长还是长了50多请问各位有什么办法吗?

作者: TATA 时间: 2005-5-17 04:19
嘻稀，你镀的是什么啊，AL2O3 810是什么东东，请教

作者: wazxq 时间: 2005-5-18 06:23
说的再详细点，如果像AR膜波长长可以使用离子源刻蚀

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