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标题: 紧急求助：如何清洗超净布的熔融物 [打印本页]

作者: mood 时间: 2005-5-1 19:18
标题: 紧急求助：如何清洗超净布的熔融物
各位大佬，我用PECVD时，在300度，不小心用超净布（clean room wiper）擦了一下样品台，谁只布就粘上了，还熔融了一部分。现在不知道用什么清洗啊？
可不可以直接用CF4/O2 清洗啊？
很急啊，请帮帮我吧。

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