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标题: 哪位神仙能帮忙告诉小弟，4X4mm的铝膜，多厚才能不变性？ [打印本页]

作者: leeman_l 时间: 2005-5-9 01:37
标题: 哪位神仙能帮忙告诉小弟，4X4mm的铝膜，多厚才能不变性？
各位神仙，小弟先谢了。请问，一个4X4mm大的铝膜，由悬臂支撑，中间悬空。蒸也好，溅也好，不管以什么样的方法制作，需要多少um厚才能保持铝膜不会变形？如果要是使用二氧化硅呢？谢谢了

作者: yaoxilin1003 时间: 2005-5-9 02:09
这里所指的“不变性（形）”是否是光学性能在成膜后不随着时间而逐步起变化（存在着氧化问题）。如果强调这一点的话，应该在Al膜外加镀保护层（MgF2、SiO2等都可以），而不应该是Al膜的厚度的问题。

作者: leeman_l 时间: 2005-5-9 03:27
谢谢yaoxilin100，我想，我可能最终会使用真空封装，可能并不涉及到氧化问题，由于该铝膜是悬空的，由铝制悬臂梁支撑，而且需要小范围振动（MEMS工艺器件），我这里是指，需要大概多厚，才能保证只有铝制悬臂梁发生弯曲，而4X4mm的铝膜不会变性？谢谢:)

作者: leeman_l 时间: 2005-5-9 03:38
靠，有写成“性”了，是形

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