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标题: 有谁用磁控反应溅射（射频）做过氧化钛薄膜吗？寻求帮助 [打印本页]

作者: daniell 时间: 2005-5-12 20:52
标题: 有谁用磁控反应溅射（射频）做过氧化钛薄膜吗？寻求帮助
您好啊，我现在镀氧化钛光学薄膜，要以基底温度为变量，其余参数固定，我想问有没有人知道最优参数啊，我实在找不到啊，急用！拜托！

作者: 风之炫彩 时间: 2005-5-14 20:09
你做的是反应溅射，还是什么，反应溅射时我考虑到反应温度的影响了

作者: zmst 时间: 2005-5-15 01:57
衬底温度不用太高，80～100就可以了

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