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标题: [求助]PECVD生长薄膜时如何利用RF控制膜应力？ [打印本页]

作者: mood 时间: 2005-5-20 05:26
标题: [求助]PECVD生长薄膜时如何利用RF控制膜应力？
调节沉积时的RF频率可以缓解膜应力，原理是什么？
不懂，请教各位大侠。谢谢。

作者: zz 时间: 2005-5-20 15:51
.................总之有句话说的好：过尤不及。

作者: zz 时间: 2005-5-20 16:00
.................总之有句话说的好：过尤不及。

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