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标题: [求助]真空蒸镀Ni请教 [打印本页]

作者: 天涯孤星 时间: 2005-5-23 19:09
标题: [求助]真空蒸镀Ni请教
各位老大：
我使用北仪的DM700，蒸镀方式镀Ni，蒸发速率慢，请问如何调整。
谢谢

作者: kulak 时间: 2005-5-23 19:53
改用溅镀喽.哈哈,速度会提高很多!飞一样的速度

作者: fishdesky 时间: 2005-5-24 05:48
用的是什么装得镍啊
镍是镍丝还是粉？

作者: zz 时间: 2005-5-24 22:08
增大高压即可//////////////////////

作者: 天涯孤星 时间: 2005-5-25 19:26

[B]以下是引用[I]fishdesky[/I]在2005-5-23 21:48:02的发言：[/B][BR]用的是什么装得镍啊
镍是镍丝还是粉？

镍粉,蒸发源为钨片,厚度为0.5,在蒸发过程中,由于蒸发速度慢,造成钨片断,NI粉留下一半.

作者: 天涯孤星 时间: 2005-5-25 19:31

[B]以下是引用[I]zz[/I]在2005-5-24 14:08:09的发言：[/B][BR]增大高压即可//////////////////////

你是指电压,
还是高真空?

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