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标题: zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小? [打印本页]

作者: rwxu    时间: 2005-6-3 05:27
标题: zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小?
有人知道zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小,不是指测量精度和分辨率,重复性概念,是测量量程的下限。
作者: mlpo    时间: 2007-9-27 09:52
一样关注zygo测量中……
作者: wujian    时间: 2007-9-28 10:08
没用过,打算进来了解哈情况的




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