光电工程师社区

标题: 好无奈，是因为光路搭的出了问题么 [打印本页]

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-3 23:16
标题: 好无奈，是因为光路搭的出了问题么
实验室没有膜厚仪，所以没有办法只能用一台光谱仪间接的测膜厚。本来是先镀单层膜，这样通过改变溅射时间，以控制膜厚光学厚度至指定波长，不知这样的方法有没有错误

不过前面有前辈指出，用光谱仪测膜厚可能会存在精度问题，这个不管。可是，作了近一个月的时间，发现，前面的样品，经重新搭建光路后，本来单层膜有一定反射率的，现在都没有了，哭都哭不出来，老板说可能是因为没有不是平行光的缘故，不知是不是这样的原因

作者: sajian 时间: 2005-6-4 01:11
我可以帮你，请电0755－26066939，简生

作者: malan007 时间: 2005-6-4 05:57
先找个能测膜厚的地方精确测一下膜厚,排除一部分原因.

作者: wazxq 时间: 2005-6-4 19:01
经重新搭建光路后，本来单层膜有一定反射率的，现在都没有了

不懂意思

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-4 21:18
就是以前我用光谱仪测其透过率，前后相差好多

作者: eagle1 时间: 2005-6-4 23:16
我觉得很可能是你测试用的光不是平行光.
我的建议是你可以采用1. 未镀的白片;或2. 高反的面镜来做一下测试和标定.

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-4 23:21
未镀的白片，我每次都是用他先做标定的，这个应该是没有问题，高反射，好，这个沃等会去试一下，

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-4 23:23
不知各位使用什么测膜厚，我想直接测它的实际膜厚算了

作者: eagle1 时间: 2005-6-4 23:47
可以考虑用台阶仪或者椭偏仪直接测试。

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-5 00:48
不知道在外面测试样的厚度，折射率要多少米呀

作者: malan007 时间: 2005-6-5 04:59
"多少米"什么意思呀?
是不是多少钱?
台阶仪好像比较贵,而且对试样要求也比较高.椭偏仪测一个点大概在100RMB左右吧.

作者: yh15430 时间: 2005-6-8 05:27
标题: 回复：（风之炫彩）不知道在外面测试样的厚度，折射率...
你怎么连光学方面最基本的概念都搞不清啊！

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-8 05:35
我知道，只是我老板不给我做膜厚的测试，楼上的，指点一下，好么

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)