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标题: zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小? [打印本页]

作者: rwxu 时间: 2005-6-4 18:06
标题: zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小?
有人知道zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小，不是指测量精度和分辨率，重复性概念，是测量量程的下限。

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