光电工程师社区

标题: 测膜厚，有没有地方做 [打印本页]

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-4 21:23
标题: 测膜厚，有没有地方做
我发过帖子了，就是用光谱仪测膜的光学厚度，但是经过一个月的时间，发现不是很直接，干脆直接测出它的膜厚和折射率算了，有没有地方可以做，我在湖南大学，就近的！

作者: malan007 时间: 2005-6-5 04:56
椭偏仪.
我在西安,有点远.

作者: 风之炫彩 时间: 2005-6-6 00:37
谢了，刚在我们实验室发现了一台椭偏仪，你在西安哪呀

我大学是在陕西读的哦

作者: malan007 时间: 2005-6-7 07:26
西安西核所,真是巧了,我大学是在长沙读的.有缘认识一下啦.QQ:462082566

作者: fishdesky 时间: 2005-6-14 06:20
椭偏仪能测的范围是多大啊？
几十nm到几百UM？

作者: zphhappy2002 时间: 2005-6-16 23:03
大家好呀,我是做薄膜分析仪的,请问薄膜分析仪与椭偏仪有什么区别呀,
我只知道薄膜分析仪.能测SCI FilmTek TM Systems(薄膜测量仪器测试功能说明)可测量:
Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness)
Thickness Measurement Range 厚度测量范围
Maximum Spectral Range 最大光谱范围
Standard Spectral Range标准光谱范围
Reflection反射测量
Transmission透射测量
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量
Power Spectral Density功率谱密度测量
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量
Both TE & TM Components of Index
Multi-layer thickness多层厚度测量
Index of Refraction折射系数测量
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数
Energy band gap能量带隙测量
Composition成分测量
Crystallinity晶状测量
Inhomogeneous Layers非均匀层测量
Surface Roughness表面粗糙度测量

希望能赐教;
我的Email:zoupuhong@chinaecnet.com
0755-83342710

作者: xiewenfa 时间: 2005-10-25 19:27

我用椭偏仪测薄膜的厚度和光学常数，我们实验室的波长范围是250nm-1700nm，角度可变，感觉效果还可以，但是作在玻璃衬底上的话比较不好拟合！

作者: wish 时间: 2005-10-26 19:16
用椭偏仪测量膜厚，测量不是问题，关键是建立合适的模型来拟合。

作者: tfc 时间: 2005-10-26 21:10
用椭偏仪测量膜厚,基片和膜料折射率差远些更好。

作者: 长风破浪 时间: 2005-10-28 21:04

只测膜厚的话，麓谷有一台非常好的STEP膜厚测试仪，误差很小，可测量几十nm的膜厚一点问题没有

有兴趣的话

chutian613@tom.com

作者: samtgt 时间: 2005-10-28 22:17
救火呀...谁能帮我呀...急需镀膜机上用的电子管/牌子：Telemark(美国产）型号：３０６９９数量：２个．如有请致电我：０７５５－８２２９７００６镀膜部陈先生

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