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标题: 耐高温薄膜 [打印本页]

作者: xuxk 时间: 2005-6-10 01:03
标题: 耐高温薄膜
想做一个厚度约为2000nm的薄膜元件
但是我需要它能1000度高温,大家有什么好的意见没有?比如材料的选择,工艺的控制,应力的匹配等方面!

作者: snebur 时间: 2005-6-15 07:14
找到材料后再定工艺吧！我认为这是技术的关键！对于此薄膜除温度要求外还有什麽其他要求？

作者: zz 时间: 2005-6-15 16:01
薄膜材料到1000没啥问题,但有什么基体材料能受的了1000呢,不是玻璃吧,啥晶体呢?

作者: xuxk 时间: 2005-6-15 18:13
光学性能要求:可见光反射,紫外红外透过
基底材料我觉得选择石英就可以了
不知大家有何新高见?

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