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标题: 请教来宝镀膜机 [打印本页]

作者: liurongbo 时间: 2005-6-16 04:50
标题: 请教来宝镀膜机
我有几个问题想请教大家：
单位的莱宝镀膜机出现两种故障，我不知道怎么解决，请赐教：
1.镀膜材料在运作过程中塌方（容器内部分空掉）；
2.程序运行到37步时，无法继续进行，这是正好是镀第一层膜。
望大家指导，bonue.liu@hotmail.com

作者: zz 时间: 2005-6-16 20:18
一.料没熔好
二.设置有问题////////////////////////////

作者: flyinlove79111 时间: 2005-6-17 02:09
你说的材料是什么材料啊?一些材料在蒸发功率设置不当的情况下会发生这种事情,你就调整功率吧.要不就是象2楼说的,材料没有预熔好;第一层膜都还没镀就走不下去,应该是设置问题,否则就是电路出问题了.

作者: liurongbo 时间: 2005-6-17 04:47
谢谢！
我们第一层是TiO2。
1.请问我们应该在过程中如何来保证TiO2能够熔好？
2.37步无法继续下去是因为设置的问题，能判断出可能是那些参数吗？
谢谢交流！

作者: flyinlove79111 时间: 2005-6-17 19:17
预熔氧化钛,时,如果坩埚很大,就一点一点加氧化钛,多熔几次,如果一次加的材料太多,有时候就不易熔透,就会出现你说的情况.程序无法继续下去,那电脑有没有什么提示或报警???如果有就好办了.

作者: liurongbo 时间: 2005-6-18 08:00
今天莱宝的技术员来我公司，运行不了是电路除了问题，一直在调试，但是到目前还没有完全搞好。
提到预熔，我们是放进去程序一直跑到底，中途如果塌方就只能停下来。不知道有没有方法直接做预熔，这样节省时间。手动预熔又是怎么操作呢？谢谢。

作者: flyinlove79111 时间: 2005-6-18 08:42
手动预熔，必须在启动自动程序之前，用专门手动程序对材料进行手动预熔。

作者: lzw_happy 时间: 2005-6-20 05:44
我想还是先手动预熔好材料

作者: liurongbo 时间: 2005-6-21 04:55
谢谢大家，设备还是搞好了，当然也少不了手动预熔，真的谢谢大家。
不过，
我们做4层减反膜，可是做出来的结果总是NG，要不就是680nm处高出，要不就是560-570nm左右高出，这个怎么改善呢？

作者: zz 时间: 2005-6-21 15:48
有两个可能:
1.理论折射率不准确
2.TOOLING值不准确

作者: liurongbo 时间: 2005-6-22 04:09
我的莱宝机器又出问题了，
自动预熔TiO2的时候本来应该2分钟左右就进行下一步的，现在程序不切换，一直镀下去了，还不停下来。望指点！！
10楼兄弟说的比较笼统，我发现镀膜的时候，镀每一层时OMS反射率达到一个值则进行下一步，但是每次Crystal检测的厚度都不一样，并且我发现如果厚度控制在一个范围内，其结果就可能是OK的，望详细指点！

作者: zz 时间: 2005-6-22 15:51
不切换不时你设置有问题,就是设备有问题.
哦,那你直接用CRYSTAL监控就是了.

作者: flyinlove79111 时间: 2005-6-23 01:41
一直不切换是因为实际沉积的膜层折射率小于你在电脑中输入的折射率值,换句话说就是控制片上的反射率值小于理论计算值.如果别的参数没有设错的话.

作者: liurongbo 时间: 2005-6-24 02:21
我的机器是有时好有时坏，今天完整的做了一锅，但是现在在35步启动预熔的时候就听了下来，我怀疑我的程序是不是不好，二手的机器就是不理想。

作者: zz 时间: 2005-6-24 23:29
如果你设置都没问题,那就是硬件或软件有问题.
还是直接询问LEYBOID吧.

作者: bete 时间: 2005-8-4 07:15
学到了点，刚好用得上！

[此贴子已经被作者于2005-8-3 23:16:03编辑过]

作者: eagle1 时间: 2005-8-28 00:50
你可以先用石英晶振片控制镀膜看,如果没有问题,就是你的OMS设置有问题.建议你的OMS的波长设定最好使镀的每层膜料都过了极值点之后才停止.

作者: snebur 时间: 2005-9-4 07:45
把镀膜过程中，光谱的特征曲线发在网上好吗？可以参考一下在给您建议！】

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