光电工程师社区

标题: 帮帮忙！！！！！！！！！！ [打印本页]

作者: 4366544 时间: 2005-6-28 17:48
标题: 帮帮忙！！！！！！！！！！
为什么会有同一个机器镀膜．镀单层mgf2时是均匀性相差波长５ＮＭ，但是镀多层时会差波长３０ＮＭ啊！
[glow=255,red,2]望诸位帮帮忙啊[/glow]

作者: 4366544 时间: 2005-6-28 18:49
怎么没有人啊！晕

作者: flyinlove79111 时间: 2005-6-28 20:31
因为每台机器都有控制误差啊.

作者: zz 时间: 2005-6-28 21:14
首先多层较当层敏感,其次各种膜料的均匀性不一样,再次误差累积.

作者: wazxq 时间: 2005-6-28 21:42
材料的性质不一样，束流不同也会。不过按道理没有那么大的变化。

作者: 4366544 时间: 2005-6-28 21:54
hai 有人在吗?我们一起讨论讨论!!

作者: 何谓人 时间: 2005-6-29 03:52
多种原因造成的，你的机子的性能，及稳定性不好吧！！！

作者: 4366544 时间: 2005-7-8 22:34

[B]以下是引用[I]何谓人[/I]在2005-6-28 19:52:05的发言：[/B][BR]多种原因造成的，你的机子的性能，及稳定性不好吧！！！

就算是也不会这么大的差距啊？

作者: xiaozhou 时间: 2005-7-9 06:07
不知道误差是指同一罩的还是罩与罩之间的误差。

作者: Leesnow 时间: 2005-7-9 21:52
应该是单层的不稳定，多层的结果可靠一些！

作者: 4366544 时间: 2005-7-10 00:19
你说的是什么意思啊?什么东西可靠啊?

作者: 经济学的故事 时间: 2005-7-13 00:50
蒸镀条件没变更的话
建议你校正下你的Mask，另蒸镀时可考虑加大点Rotation speed．

作者: Leesnow 时间: 2005-7-13 01:52
镀完之后的检测结果阿

作者: 4366544 时间: 2005-7-13 15:56

[B]以下是引用[I]经济学的故事[/I]在2005-7-12 16:50:57的发言：[/B][BR]蒸镀条件没变更的话
建议你校正下你的Mask，另蒸镀时可考虑加大点Rotation speed．

能不能说清楚一点啊!谢谢!!!!!!!!!

作者: attacker99 时间: 2005-7-14 05:25
主要是镀多层膜时，除MGF2外的其它膜料的均匀性不好。
1 加大DOME旋转速度
2 调节蒸发膜料的光斑，取得最佳入射角
3 观察伞片是否变形
4 重新修正MASK

作者: 4366544 时间: 2005-7-16 03:29
xiexie !wo huishishi de

作者: TATA 时间: 2005-7-17 06:35
问下他是不是只做了ＭＧＦ２的均匀性啊

作者: 4366544 时间: 2005-7-19 03:32
不是的!有多层的也有MGF2!我说的单层就是MGF2

作者: hx0999 时间: 2005-7-21 17:54
路过，学习一下～

作者: zjtzzg 时间: 2005-7-24 20:46
多层膜的均匀性肯定比单层膜要差点的，如果另一种或几种膜料的均匀性不好也是不行的

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)