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标题: 请教关于硅片镀膜出现白斑的问题！！！ [打印本页]

作者: huafei920 时间: 2005-7-16 19:49
标题: 请教关于硅片镀膜出现白斑的问题！！！
硅片在扩散的时候不小心沾有水滴，扩散出来后，片子边缘出现蓝色的色斑，用氢氟酸清洗后，表面比较干净，原来的色斑处看不出有什么不同的地方，但用PECVD镀膜就出现白色的斑块，把膜去掉重新镀膜，还会出现上述现象，不知这是什么原因？
请各位指点一下！！！谢谢！
email: huafei920@163.com

作者: coatingli 时间: 2005-7-16 22:08
有没有可能硅片被HF酸处理后表面微观结构发生变化，镀上膜后有光线散射所以会发白，大家讨论。

作者: zhangking 时间: 2005-7-27 00:46
我们公司不做硅镀膜，但是做硅的冷加工。
我们发现用HF酸可以清除硅表面的很多污染：水痕，抛光粉，油印。
但是只能用来清除柱面的污染，表面是不允许使用的，好象就是会腐蚀表面

作者: lisef129219 时间: 2007-7-25 11:07
HF酸会腐蚀硅表面的

作者: 382185026 时间: 2009-1-10 08:15
HF会腐蚀硅片吗》》》》》》》》》

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