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标题: sic掺杂采用什么氮源？ [打印本页]

作者: wanking 时间: 2005-7-17 02:40
标题: sic掺杂采用什么氮源？
小弟想用离子注入法对sic掺杂，但是不知道要用什么N源比较合适。NH3可以么？

作者: wlsly 时间: 2005-7-18 18:34
楼主是做SIC的？用氮气不行吗？？？

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