光电工程师社区

标题: 为什么膜会自然脱落？ [打印本页]

作者: zjtzzg 时间: 2005-7-24 20:29
标题: 为什么膜会自然脱落？
近日发现少量脱膜问题，此膜是双面的IR/AR，IR面脱（TiO2+SiO2)，基本上是整面脱，成“起皮”状；基片水晶，离子源辅助；此片是今年3月份镀制，镀后检查是ok的，但在放置这么长时间之后就发现了这样的问题，不知是什么原因，请各为大虾代为分析，不胜感激！

作者: lawsonfang 时间: 2005-7-24 20:56
可能是在当时镀的时候机机器有故障，比如：POLYCOLD跳机，进O2量不足等。在放置的过程中晶体吸湿就会出现脱膜现象

作者: zz 时间: 2005-7-24 21:35
应力所致///////////////////////////////

作者: zjtzzg 时间: 2005-7-25 00:57
先谢谢两位！
应力所致，我觉得有理，但是应力这东西，目前我们很难检测，难以控制，是否有什么好的方法来避免这种脱膜问题？
2楼的“进氧量不足”如何会导致脱膜？我不能理解，敬请指教！

作者: annespring 时间: 2005-7-28 01:24
膜不牢固呗

作者: 城市之间 时间: 2005-8-3 00:48
返油容易导致脱膜。
如果你没有离子源，或离子源的能量太低的话，以及温度低的话
单凭TIO2和SIO2的应力，应该不太可能导致脱膜

作者: snebur 时间: 2005-8-3 05:26
基板清洁有问题！这是关键！tio2 +sio2
IAD 辅助不会因为应力脱膜！除非离子源参数选择不当！

作者: ltpp 时间: 2005-8-3 17:30
膜层附着力不够，有可能是基片清洁问题，膜面与基片间有杂物，试试镀之前先用离子源清洗基片

作者: fasces9 时间: 2011-7-30 16:01
造成脱模的有很多原因，可以一个个排除

作者: 阿俊 时间: 2011-9-1 16:01
镜片基板表面有污渍，

作者: 逐梦者 时间: 2011-9-10 17:27
看来可能性比较大的是基片表面清洁度的影响了

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-22 16:36

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-28 22:52
请问楼主您的基片擦拭前有进行过

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